SY7120-5LZD-02/SMC潔凈型減壓閥
系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
特長 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
(閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
 系列/CAD 使用壓力范圍 (Pa) 使用流體 門尺寸
(高×寬) (mm) 動作壓力
XGT  大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
特長 對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
 系列/CAD 使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝ 缸徑 (mm)
CYV  大氣～1.3×10-4 15,32
特長 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸。
1。維護(hù)中，必須遵守警示牌。
2。當(dāng)從閥門上卸下存款，小心不要損壞
3。應(yīng)該用于服務(wù)的SMC指定部分。請參閱
4。當(dāng)拆卸閥或外部密封，注意不要損壞
的密封表面。當(dāng)安裝閥門密封，確保
5。請參考使用手冊更換說明。
注2）請參照各系列的“建設(shè)”，為建設(shè)數(shù)字。
注1 ）添加一個后綴為密封材料（見下表1）在零件編號末尾時，比標(biāo)準(zhǔn)橡膠（FKM等閥門的密封材料：化合物1349 -
80 ：三菱電線工業(yè)株式會社制造）是理想的。
注2）自動開關(guān)磁鐵沒有連接。在自動開關(guān)磁鐵安裝的情況下，請加“ - M9 / / ”在型號的末尾。 （不適用于
注3 ）自動開關(guān)和電磁閥是沒有連接。當(dāng)需要一套包括自動開關(guān)和電磁閥，請自動切換后添加符號

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