相對于測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現寬廣范圍的測量、控制。實現了質量流量計CMS的可調比100：1、大流量質量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！
適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。
快速響應
傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。
低圧損構造
μF傳感器設置在流路的壁面上，所以阻礙流體流動的構造體少，具有低壓力損失的特點。適合于低圧氣體流量的檢測、控制。
c.工藝介質變化
若測量介質出現夾氣，氣化或兩相流等現象，變送器會出現報警顯示，嚴重時，傳感器停止工作。
d.變送器失效。
e.傳感器失效。
f.管道吹掃問題。
MicroFlow的質量流量計系列是檢測部采用了本公司獨立開發的熱式流速傳感器「μF傳感器（Micro Flow Sensor）」的質量流量計。
使用微型機器技術、把超微細的流速傳感器與**的流路設計技術進行融合，用**格實現了以前沒有的高精度、寬可調比。
適用于工序、實驗裝置等使用的燃料煤氣?各種工業煤氣?工廠空氣的流量管理及各車間的使用量管理等

日本azbil質量流量計，山武流量計質量要求