日本NACHI疊加式單向閥

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下1MPa{10kgf/cm2}時流量） 80 180 350
流量r/min 140 300 600
通過主滑閥的小反饋大幅度提高磁滯的重現性。
MPa{kgf/cm2} 0.2 {2} 0.2 {2} 0.2 {2}
50 （注1） 50 （注1） 50 （注1）
液控減壓閥設定壓力MPa{kgf
/cm2} 2.0 {20} 2.0{20} 4
液控流量r/min 4 8 12(DR1)、L (DR2) 容許背壓
頻率響應Hz（±10%輸入9重量kg 8 12 18
度相位遲） 20 （注1） 20 （注1） 20 （注1）
低液控壓力MPa{kgf/cm2}
1.5 {15} 1.5 {15} 2.0 {20}
(W) 12.0 9.6 12.2 12.0 9.6
12.2 10 10 容許電壓
范圍（V） 80～110 90～120 1
60～220 180～240 90～110 21.6～26.4
磁滯性% 0.5以下0.5以下0.5以下
階梯響應ms（0→100%變位
響應性適用20Hz和高精度的加速控制。
放大器的電源OFF時或接線
斷線時返回中立位置（失效保險功能）。

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